金属材料をテクノロジーする総合マテリアル企業
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各種薄膜コーティング装置、洗浄用プラズマ装置の製造、販売
薄膜・プラズマ装置
薄膜コーティング装置の設計・製作
Plasma CVD
 プラズマ装置の用途は数多くあります。母材の表面処理用から、低温でのセラミックコーティング処理用など、あらゆる分野で活躍しています。 母材に付着したミクロのゴミをも除去するプラズマクリーニングで接着剤などの密着性を向上させることも可能です。 また従来では高温で処理していたTiNなどのセラミック膜も、プラズマ装置なら低温で処理できるため、母材を痛めることもありません。 DLC(Diamond Like Carbon)の製膜も可能です。
その他にも、各種気相蒸着装置(PVD装置、CVD装置)の製造も行ないます。








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